Name in English:
IEC 62047-10:2011
Name in Russian:
МЭК 62047-10:2011
Description in English:
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials
Description in Russian:
Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 10. Испытание на сжатие микро - колонн для материалов MEMS