Name in English:
IEC 62047-4:2008
Name in Russian:
МЭК 62047-4:2008
Description in English:
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS
Description in Russian:
Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 4. Общие технические условия на MEMS