Name in English:
IEC/TS 62622:2012
Name in Russian:
МЭК/TS 62622:2012
Description in English:
Nanotechnologies - Description, measurement and dimensional quality parameters of artificial gratings
Description in Russian:
Нанотехнологии. Описание, измерительные и размерные параметры качества искусственных просеиваний