Name in English:
GOST R 71334-2024
Name in Russian:
ГОСТ Р 71334-2024
Description in Russian:
Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции