ASTM F374-02 PDF
Name in English:
St ASTM F374-02
Name in Russian:
Ст ASTM F374-02
Description in English:
Standard Test Method for Sheet Resistance of Silicon Epitaxial, Diffused, Polysilicon, and Ion-implanted Layers Using an In-Line Four-Point Probe with the Single-Configuration Procedure (Withdrawn 2003). Original standard ASTM F374-02 in PDF full version. Additional info + preview on request
Description in Russian:
Стандартный метод определения поверхностного сопротивления эпитаксиальных, диффузионных, поликремниевых и ионно-имплантированных слоёв кремния линейным четырёхточечным зондом в одной конфигурации (отменён в 2003 году). Оригинальный стандарт ASTM F374-02 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Document status:
Withdrawn
Format:
Electronic (PDF)
Page count:
17
Delivery time (for English version):
1 business day
Delivery time (for Russian version):
2 business days
SKU:
stastm17565
More technical details are being prepared for this document.