Name in English:
GOST R 8.659-2009
Name in Russian:
ГОСТ Р 8.659-2009
Description in Russian:
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки